咨询电话:

13681669520

Park NX20原子力显微镜

简要描述:Park NX20原子力显微镜作为缺陷形貌分析的精密测量仪器,可进行大型样品精密测量并凭借着高精准的数据准确性,在半导体和超平样品行业中大受赞扬。

  • 更新时间:2024-03-20
  • 厂商性质:经销商
  • 访  问  量: 1148

相关文章

Related Articles

详细介绍

作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器,其主要目的是对样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许有错误的存在。Park NX20原子力显微镜,这款高精密的大型样品原子力显微镜,凭借着数据的准确性,在半导体和硬盘行业中大受赞扬。

全面多样的分析功能

Park NX20原子力显微镜可快速帮助客户找到产品失效的原因,并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。高精密度可为用户带来高分辨率数据,让用户能够更加专注于工作。与此同时,非接触扫描模式让探针针尖更锋利、更耐用,无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。

FA和研究实验室提供精确的形貌测量解决方案

· 对样品和基片进行表面粗糙度测量

· 缺陷检查成像与分析

· 高分辨率电子扫描模式

· 三维结构测量的解耦XY扫描系统

· 低噪声Z探测器可精确测量原子力显微镜表面形貌

Park NX20特点

 低噪声XYZ位置传感器

 自动多点样品扫描

 扫描头滑动嵌入式设计

 用于高级扫描模式易插拔扩展槽

 高速24位数字电子控制器

 高速Z轴扫描器,扫描范围达15 µm

 集成编码器的XY自动样品载台

 操作方便的样品台

 同轴高功率光学集成LED照明和CCD系统。

 自动Z轴移动和聚焦系统

Park NX20技术参数

扫描器

Z扫描器

柔性引导高推动力扫描器

扫描范围: 15 µm (可选 30 µm)
高度信号噪声等级: 30 pm
(RMS, at 0.5 kHz带宽)

XY扫描器

闭环控制的柔性引导XY扫描器

扫描范围: 100 µm × 100 µm
(可选 50 µm × 50 µm)

驱动台

Z位移台行程范围 : 25 mm (Motorized)
聚焦样品台行程范围 : 15 mm (Motorized)
XY位移台行程范围 : 200 mm x 200 mm

样品架

样品尺寸 : 基本配置开放空间 up to 200 mm x 200 mm,厚度 up to 20 mm
样品重量 : < 500 g

光学

10倍 (0.23 N.A.)超长工作距离镜头 (1µm分辨率)
样品表面和悬臂的直观同轴影像
视野 : 840 × 630 µm (带10倍物镜)
CCD : 100万像素, 500万像素 (可选)

软件

SmartScan™

AFM系统控制和数据采集的专用软件
智能模式的快速设置和简易成像
手动模式的高级使用和更精密的扫描控制

XEI

AFM数据分析软件

电子

集成功能
4通道数字锁相放大器
数据Q控制


信号处理

ADC : 18 channels 4 high-speed ADC channels 24-bit ADCs for X, Y and Z scanner position sensor

DAC : 17 channels 2 high-speed DAC channels 20-bit DACs for X, Y and Z scanner positioning

Maximum data size : 4096 x 4096 pixels


连接外部信号
20个嵌入式输入/输出端口
5个TTL输出 : EOF, EOL, EOP, 调制和交流偏压



产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
扫码关注

传真:

邮箱:frank_li@hengzelab.com

地址:上海市浦东新区宣秋路139号1号楼208室

版权所有©2024 上海珩泽科技有限公司 All Rights Reserved     备案号:沪ICP备19045460号-2     sitemap.xml     管理登陆     技术支持:化工仪器网