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Park NX20 300mm原子力显微镜

简要描述:Park NX20 300mm原子力显微镜是业界创新型大样品原子力显微镜,支持300mm×300mm全程机动化。新升级的Park NX20系统专为失效分析和质量控制实验室设计,可有效地检测整个300mm晶圆,且无需任何繁琐的样品位移。尽管扩大了支持300mm样品的机动XY工作台,但Park的创新性振动隔离技术仍然能够将系统噪声保持在低于0.5 (Å) RMS,通常是0.3 Å RMS的水平。

  • 更新时间:2024-03-20
  • 厂商性质:经销商
  • 访  问  量: 1135

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详细介绍

Park NX20 300mm原子力显微镜是业界创新型大样品原子力显微镜,支持300mm×300mm全程机动化。新升级的Park NX20系统专为失效分析和质量控制实验室设计,可有效地检测整个300mm晶圆,且无需任何繁琐的样品位移。尽管扩大了支持300mm样品的机动XY工作台,但Park的创新性振动隔离技术仍然能够将系统噪声保持在低于0.5 (Å) RMS,通常是0.3 Å RMS的水平。


可用于 300mm晶片圆测量和分析的自动化纳米测量工具

·支持200mmx200mm300mmx300mm的全自动原子力显微镜

·无需手动移动样品即可实现样品上每个点的精密测量

·Park NX20300 mm是专为失效分析和质量品控设计

·工业测试软件可以实现样品的全自动化批量测量,使得NX20检测过程变得高效易用



专为大样品晶圆检测而建

NX20 300 mm进行了全新设计,可达到大样品的高精度测量。整个300mm晶圆区域可进行低噪声原子力显微镜测量分析。这开启了一个全新的自动化测量范围,让工程师可以更快捷、更简便、更精准地开展工作。


灵活的300mm样品吸盘

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Park NX20 300mm真空吸盘支持各种尺寸、形状和类型的晶圆,让用户几乎可准确扫描任何样品。


300mm XY轴工作台

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机动化的300mm XY轴工作台允许用户在300mm的全部区域内移动原子力显微镜的测量位置。


针对广泛应用性进行优化

Park NX20 300mm原子力显微镜为众多应用提供自动格式的原子力显微镜测量,为纳米级的样品提供精准测量和分析。具有粗糙度、高度和深度测量,缺陷检查,电气和磁故障分析,热性能表征和纳米力学性能成像等能力,该原子力显微镜是检测大样品的FA、QA和QC工程师执行各种任务的理想选择。

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