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Park NX15原子力显微镜

简要描述:Park NX15原子力显微镜不仅非常适合共享实验室里的研究人员处理各种样品、进行多变量实验,也同样适合故障分析工程师处理晶圆的系统性工作。

  • 更新时间:2024-03-20
  • 厂商性质:经销商
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详细介绍

Park NX15原子力显微镜不仅非常适合共享实验室里的研究人员处理各种样品、进行多变量实验,也同样适合故障分析工程师处理晶圆的系统性工作。

便捷的样品测量(包含多样品扫描)

 一次可对多个样品自动成像

 设计的多样本卡盘,一次至多可装载9个单独样品(可选)

 全电动XY样品台行程可达 150 mm x 150 mm

通过消除扫描器串扰进行精准的XY扫描

 独立闭环XY和Z柔性扫描器

 正交XY扫描

 无需软件处理即可保留真实可信的样品表面形貌信息

真正非接触模式实现探针使用寿命、成像分辨率和样品的有效保护

 快速的Z伺服速度,实现真正的非接触模式

 针尖磨损微小化,可实现长时间的高质量和高分辨率成像

多种模式和选项

 全面性的测量模式和表征方法

 可实现可选配件和升级扩展功能

 用于故障分析(FA)的精密电学测量

Park NX15原子力显微镜 参数

扫描器

Z扫描器

柔性引导高推动力扫描器

Z扫描范围:15μm(30 μm可选)

XY扫描器

闭环控制式单模块柔性XY扫描器

扫描范围:100μmx 100μm

光学

带视觉相机的同轴光学系统

物镜:10x放大

视场:

480 μm X 360 μm(默认 120 万像素视觉相机)

840 μm X 630 μm( 默认 500 万像素视觉相机)

电路系统

信号处理

ADC: 用于 X,Y和Z 扫描器位置传感器的 24 位 ADC

DAC: 用于 X,Y和Z 扫描器定位的 20 位 DAC

样品台

Z位移台行程范围:25.5 mm

XY位移台行程范围:150 mm X 150mm

样品大小:可满足150 mm wafer 样品



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